X-ray lithography research

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X-ray lithography research
X-ray lithography research. Research into manufacture of integrated circuits using X-ray photolithography. Photolithography involves projecting the pattern of the desired circuit onto specially-treated silicon wafers,usually with ultraviolet (UV) light. Exposure to the light causes a photosensitive chemical layer (photoresist) to become either less or more stable (positive or negative resist). The surface of the silicon is then exposed to chemical etching,creating the desired pattern. Because X- rays have a shorter wavelength,they could potentially be used to etch smaller features on chips. Photographed at IMT Berlin,Germany
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Crédit: Science Photo Library / Maximilian Stock
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