Silicon cluster manufacturing tool

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Silicon cluster manufacturing tool
Silicon cluster manufacturing tool. Technician working on a silicon cluster tool,used for robotic assembly of silicon devices in a vacuum. Features includes SiN (silicon nitride) passivation layers,and the integration of thin-film layers. This is intended to improve the performance of heterojunction solar cells. It can also perform amorphous and nanocrystalline silicon device deposition,such as transparent conducting oxides (TCO). Photographed at the Process Development and Integration Laboratory (PDIL) of the Science and Technology Facility (STF) at the National Renewable Energy Laboratory (NREL),Golden,Colorado,USA
Licence : Droits gérés
Crédit: Science Photo Library / US DEPARTMENT OF ENERGY / MIKE LINENBERGER, NREL
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